тел.: + 49 3628 66048-2900
От проектирования строительства и до установок вентиляционного восстановления газа.
С более 220 сотрудниками, инженерами в различных областях специализации и с более чем 140 летней традицией фирмы, компанияEPC Group известна своими высококачественными процессами и установками. К нашей сфере деятельности относятся, помимо проектирования и поставки оборудования для ТХС-синтеза, а также вентиляционного восстановления газа, и участки ректификации, при которых востребовано «ноу-хау» опытных экспертов. Мы также обеспечиваем все вспомогательные установки, системы инфраструктуры и услуги проектировки строительства для комплексных заводов. Клиенты со всего мира ценят нас, как надежного партнера с индивидуальным подходом к решению поставленных задач.
Системы обеспечения шламом от ЕРС являются надежными, эффективными и безопасными для окружающей среды.
В полупроводниковой промышленности процесс распила для изготовления кирпичей или пластин из кремния незаменимы. Под шламом понимаются жидкость для порезки, при которой кремниевые блоки с помощью алмазной ленточной пилы разрезаются на очень тонкие пластины. Также при производстве кирпичей образуется шлам. Жидкость состоит из карбида кремния, который растворяется в масле и гликоле. ЕРС строит установки по переработке шлама, чтобы отделять содержащиеся в жидкости составные компоненты, очищать и повторно направлять в производственный процесс.
Системы обеспечения шламом от ЕРС являются надежными, эффективными и безопасными для окружающей среды. Мы предлагаем специальные установки смешения и подачи, которые отличаются высокой точностью. Построенные нами установки по переработке позволяют, фильтровать внутри производственного процесса применяемую смесь шлам-вода, чтобы регенерировать ценные компоненты. Благодаря регенерации уменьшаются затраты на транспорт и складирование, одновременно вы экономите средства на ультрачистую водоподготовку, а также на сточные воды.
Эксклюзивность ЕРС
Инновационные технологии использующие трихлорсилан и моносилан
Технология производства сверхчистого кремния из металлического кремния основывается на термическом распаде высокочистого ректификационного хлорсилана, в частности от силана к кремнию, при разделении и отводе газообразных побочных продуктов. Обычная коммерчески выгодная технология протекает через производство трихлорсилана в реакторе с кипящим слоем из металлургического сырьевого кремния и хлорводорода с последующей многостадийной ректификацией трихлорсилана до требуемой чистоты для желаемого применения (марка для солнечных батарей, марка для электроники). При использовании трихлорсилана для термического распада до силикона при 900 °C вреакторе CVD (химическое осаждение) образуется смесь из газообразных побочных продуктов, которая должна подготавливаться для повторного подвода в технологический процесс (вентиляционное восстановление газа). Нами же оптимизирован процесс производства сверхчистого кремния через моносилан, что представляет собой существенно более высокую эффективность (температуры прибл. 600 °C, степень разделения приближается к 100% в сравнении с обычными 25%). Получение моносилана осуществляется благодаря диспропорции трихлорсилана с циркуляцией диспропорционирования продуктов, трихлорсилан необходим для обоих процессов.
Вентиляционное восстановление газа, включая участки ректификации
Газовая смесь произведенная из термического распада трихлорсилана в реакторе CVD (химическое осаждение) должна быть снова разложена на составляющие, чтобы можно было установить соответствующие производственные циклы. Тех. процесс с моносиланом не требует таких циклов, вентиляционное восстановление газа является составной частью нашей сферы деятельности.
Опасные материалы для хранения, включая склад моносилана и система обработки
Синтетический газ моносилан сохраняется временно в вакуумоизолированной емкости до дальнейшей переработки или распределения. Емкости имеют, помимо испарителя для повышения давления еще и охлаждающий змеевик внутри емкости, для обеспечения охлаждения. Емкости являются специальной продукцией нашей дочерней фирмы CRYOTEC, которая специализируется на специальном применении криогенной техники.
Оптимизированное управление технологических процессов посредством технологии реактора с кипящим слоем (установки FBR)
Как и при производстве трихлорсилана из сырьевого кремния с HCl в реакторе с кипящим слоем, так и при дипспропорционировании трихлорсилана образуется четыреххлористый кремний, как побочный продукт. Термический распад трихлорсилана в реакторе CVD обеспечивается также избыточное количество четыреххлористого кремния. Четыреххлористый кремний преобразуется через прохождение, так называемого, реактора конверсии с водородом в трихлорсилан. Этот процесс может протекать гомогенно с водородом при прибл. 1.000 °C в графитовых реакторах. Мы используем более элегантный гетерогенный технологический процесс в реакторе с кипящим слоем при подаче кремния.
