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Von der Bauplanung bis zu den Vent-Gas-Recovery-Anlagen.
Mit über 220 Mitarbeitern, Ingenieuren verschiedener Fachrichtungen und mehr als 140 Jahren Firmentradition ist die EPC Group bekannt für hochqualitative Prozesse und Anlagen. Zu unserem Leistungsportfolio zählen neben der Planung und Ausrüstungslieferung für TCS Synthese- sowie Vent-Gas-Recovery-Anlagen auch Rektifikationseinheiten, bei denen das Know-how erfahrener Experten gefragt ist. Zudem liefern wir Ihnen die Nebenanlagen, Infrastruktursysteme sowie Bauplanungsleistungen für komplette Fabriken. Kunden aus aller Welt schätzen uns als einen zuverlässigen Partner mit individuellen Lösungsansätzen.
Slurry-Versorgungssysteme von EPC sind sicher, effizient und umweltschonend.
In der Halbleiterindustrie sind Sägeprozesse zur Herstellung von Bricks oder Wafern aus Silicium unabdingbar. Unter Slurry versteht man die Schneideflüssigkeit, mit der die Silicium Blöcke mit Hilfe von Diamantdrahtsägen in die hauchdünnen Wafer geschnitten werden. Auch bei der Herstellung der Bricks fällt Slurry an. Die Flüssigkeit besteht aus Silicium Carbid, dass in Öl und Glykol gelöst ist. EPC errichtet die Slurry-Recyclinganlagen, um die in der Flüssigkeit enthaltenden Bestandteile zu trennen, aufzubereiten und dem Herstellungsprozess wieder zuführen zu können.
Slurry-Versorgungssysteme von EPC sind sicher, effizient und umweltschonend. Wir bieten spezielle Misch- und Versorgungsanlagen, die sich durch eine hohe Genauigkeit auszeichnen. Die von uns errichtete Recyclinganlage ermöglicht es, das innerhalb der Produktionsprozesse verwendete Wasser-Slurry-Gemisch zu filtern und damit die wertvollen Bestandteile zurückzugewinnen. Durch die Rückgewinnung werden Lager- und Transportkosten minimiert, gleichzeitig sparen Sie durch den Recyclingprozess Kosten bei der Reinstwasseraufbereitung sowie Abwasserkosten.
EPC Exclusives
Innovative Technologien über Trichlorsilan und Monosilan
Das Verfahren zur Herstellung von Reinstsilicium aus metallurgischem Silicium beruht auf der thermischen Zersetzung von hochrein rektifizierten Chlorsilanen bzw. Silanen zu Silicium, unter Abspaltung und Rückführung von gasförmigen Nebenprodukten. Die kommerziell übliche Technologie verläuft über die Herstellung von Trichlorsilan im Wirbelschichtreaktor aus metallurgischem Rohsilicium und Chlorwasserstoff mit anschließender mehrstufiger Rektifikation des Trichlorsilans bis zur erforderlichen Reinheit für die gewünschte Anwendung (solar grade, electronic grade). Bei der Verwendung von Trichlorsilan für die thermische Zersetzung zu Silicium bei 900 °C im CVD-Reaktor (chemical vapor deposition) entsteht ein Gemisch aus gasförmigen Nebenprodukten, welches zur Rückführung in den Prozess aufbereitet werden muss (vent gas recovery). Der von uns optimierte Prozess der Herstellung von Reinstsilicium über Monosilan bietet eine wesentlich höhere Effektivität (Temperaturen von lediglich ca. 600 °C, Abscheidegrad von nahezu 100 % im Vergleich zu 25 %). Die Gewinnung von Monosilan erfolgt durch Disproportionierung von Trichlorsilan mit Kreislaufführung der Disproportionierungsprodukte, Trichlorsilan wird also in beiden Verfahren benötigt.
Vent-Gas-Recovery-Anlagen inkl. Rektifikationseinheiten
Das Produktgasgemisch aus der thermischen Zersetzung von Trichlorsilan im CVD-Reaktor (chemical vapor deposition) muß wieder in seine Bestandteile zerlegt werden, um entsprechende Produktkreisläufe installieren zu können. Das Monosilan-Verfahren bedarf dieser Kreisläufe nicht, die Vent Gas Recovery ist aber ebenfalls Bestandteil unseres Leistungsspektrums.
Gefahrstofflager inkl. Monosilan-Lager & -Handlingssysteme
Das Monosilan-Synthesegas wird in vakuumisolierten Behältern bis zur weiteren Verarbeitung bzw. Abfüllung zwischengelagert. Die Behälter besitzen neben einem Druckaufbauverdampfer auch eine Kühlschlange im Inneren des Behälters, um eine Kühlung zu ermöglichen. Die Behälter sind eine Sonderanfertigung unserer Tochterfirma Cryotec, die sich auf kryogene Spezialanwendungen spezialisiert hat.
Optimierte Prozessführung durch Wirbelschichtreaktor-Technologie (FBR-Anlagen)
Sowohl bei der Herstellung von Trichlorsilan aus Rohsilicium mit HCl im Wirbelschichtreaktor als auch bei der Disproportionierung von Trichlorsilan entsteht insbesondere Siliciumtetrachlorid als Nebenprodukt. Die thermische Zersetzung von Trichlorsilan im CVD-Reaktor liefert ebenfalls erhebliche Mengen an Siliciumtetrachlorid. Das Siliciumtetrachlorid wird über einen sogenannten Konvertierungsreaktor mit Wasserstoff zum Trichlorsilan umgesetzt. Dieser Prozess kann homogen mit Wasserstoff bei ca. 1.000 °C in Graphitreaktoren geführt werden. Wir wenden die elegantere heterogene Prozessführung im Wirbelschichtreaktor unter Einspeisung von Silicium an.
