К сфере услуг EPC Group принадлежит кроме проектировки и поставки оборудования для синтеза ТХС, а также вентиляционного восстановления газа, также установки ректификационной чистоты, для которых «ноу-хау» опытных экспертов всегда востребован. Кроме того, мы поставляем Вам и вспомогательные установки, системы инфраструктуры, а также услуги по планировке строительства для комплексных фабрик. Производственный процесс для ТХС и поликремния, для получения элементарного кремния в промышленных масштабах, диоксид кремния в расплаве уменьшается при помощи активированного угля. Этот кремний достаточно чист для металлургической обработки. Для получения поликристаллов кремния (Sisg), кремний необходимо очищать дальше.

Это происходит, к примеру, при помощи технологического процесса Siemens, который доработала компания EPC. С этой целью металлургический кремний обрабатывают на начальном этапе газообразным хлористым водородом. Из этого образующийся трихлорсилан отделяется из выделившегося водорода и очищается с помощью последующей стадии дистилляции. И в следующем за этим процессе CVD газообразный ТХС направляется в реактор осаждения с 54 горячими кремниевыми стержнями, на которых происходит отложение сверхчистого кремния. Производственный цикл каждого реактора CVD заканчивается прибл. после 4 дней и поликристаллический кремний может быть «собран». В качестве побочных продуктов образуется четыреххлористый кремний, который в реакторе с кипящим слоем снова преобразуется в трихлорсилан и снова подается в производственный цикл. Этот преобразующий реактор может выступать в качестве единственного источника ТХС.